Чистоедова Инна Анатольевна

канд. техн. наук, доц. каф. ФЭ, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники,

РФ, г. Томск

Научный руководитель в статьях на сайте sibac.info

• СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА AZ nLOF 2035 ДЛЯ ВЗРЫВНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ