Статья опубликована в рамках: CCXXVIII Международной научно-практической конференции «Научное сообщество студентов: МЕЖДИСЦИПЛИНАРНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ» (Россия, г. Новосибирск, 12 января 2026 г.)

Наука: Технические науки

Секция: Материаловедение

Скачать книгу(-и): Сборник статей конференции

Библиографическое описание:

Петрова П.П., Барухов С.А., Решетников Д.С. ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК (МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ И ЗОЛЬ-ГЕЛЬ) НА МИКРОСТРУКТУРУ И ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ СВОЙСТВА ОКСИДНО-ЦИНКОВЫХ СЛОЕВ В MEMS-СЕНСОРАХ ВЛАЖНОСТИ // Научное сообщество студентов: МЕЖДИСЦИПЛИНАРНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ: сб. ст. по мат. CCXXVIII междунар. студ. науч.-практ. конф. № 1(227). URL: https://sibac.info/archive/meghdis/1(227).pdf (дата обращения: 09.01.2026)

Проголосовать за статью

Готовится к изданию

Эта статья набрала 0 голосов

Дипломы участников

У данной статьи нет
дипломов